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韩半导体设备厂APS Holdings金属掩膜版通过华星光电样品认证!打破日本100%垄断

CINNO CINNO 2020-11-10

文 | 小C君 · 编译 | Peter

来源 :SEN TV


CINNO Research 产业资讯,韩国显示及半导体设备厂商AP System的控股母公司APS Holdings的金属掩膜版(Shadow mask,像素形成材料)通过了中国第二大显示厂商CSOT(华星光电)的样品认证。金属掩膜版又被称为FMM,是生产高分辨率OLED面板所需的核心零部件,目前为止在韩国没有其他厂家生产,100%依赖从日本进口。


韩国业界担忧,随着日本政府额外进行对韩经济报复的可能性增高,若金属掩膜版包含在管制清单内的话,对韩国显示厂商将会造成沉重打击。预计APS  Holdings的金属掩膜版将能对日本产品形成替代。


7月19日,业界某相关人士称“APS Holdings采用激光退火(ELA)方式开发的金属掩膜版最近通过了中国CSOT的样品认证。”并称“采用激光的方式被证明是实现UHD级(3840*2160)画质的最佳方式。”


今年4月份,APS Holdings构建了试产线,为了实现UHD分辨率,成功开发出了平均要求在10㎛以下的Invar加工技术。APS Holdings通过自家的Invar加工技术和子公司AP System开发的FMM Laser设备,实现了图案(Pattern)加工工程技术的国产化,并以实现原材料-材料-加工的精细金属掩膜版一体化生产为目标。



APS公司相关人士称“我们确实已向多家国内外显示厂商送样进行金属掩膜版样品测试”,“但是具体进展情况因为客户的要求,无法透露”,并称“内部判断的结果是好的,但距量产还需要一些时间。”


金属掩膜版是消耗性核心零部件,将OLED有机物质在被期望的点处理沉积材料进行细微蒸镀。纤薄的金属材料板上微米有数万个微米(μm)级别的孔洞,当有机物蒸发时,金属掩膜版放置在基板上,有机物就能透过各个孔洞贴附到基板上。金属掩膜版非常薄,只有在精准的位置上钻孔,才能使像素被蒸镀到适当的位置上。


尤其是将蒸发成气体的有机物蒸镀到基板上时,会发生有机物图案重叠蒸镀的阴影区间,该阴影区间越大,整体的分辨率就越低,越难实现高分辨率面板。由于显示蒸镀工艺在高达几百度的高温下进行,需要在高温下维持形状不发生行行形变,越是高分辨率的OLED,越需要更高的精密度。因为技术难度高,采用韩国技术的产品目前尚没有应用于量产线的案例,全部依赖从日本进口。


APS Holdings相关人士称“占领金属掩膜版市场的日本厂商还没有掌握实现UHD分辨率的技术”,“APS的目标是超越日本厂商所掌握的QHD市场,引领UHD解决方案市场。”


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